Опис
Компактная настольная вакуумная напылительная установка inSpect®-VAC для ионно-плазменного распыления/напыления на субмикронном уровне любых металлов (например, Au, Pt, In и Ag) в вакууме; и является идеальным и недорогим инструментом для вакуумного напыления образцов для различных задач в науке и технике, в том числе для препарирования (подготовки) образцов для сканирующего электронной микроскопии. Конструкция установки отличается простотой и легкостью управления.
Особенности конструкции:
– Вакуумная камера выполнена из термостойкого стекла;
– Встроенный в вакуумную камеру датчик вакуума и стрелочный индикатор тока напыления (милиамперметр) позволяют мониторить и контролировать процесс напыления. Стрелочный индикатор вакуума в единицах мм.рт.ст. и Па. Датчик вакуума (Пирани) находится внутри блока управления, что обеспечивает его целостность);
– Контроллер регулировки тока напыления и вакуумный клапан (игольчатый), в сочетании с внутренней автоматической схемой управления, обеспечивают контроль давления и тока ионизации в вакуумной камере, а также степень напуска необходимого газа для получения наилучшего напыления.
– Таймер для установки времени напыления в диапазоне от 10 до 110 секунд.
– Специальное уплотнительное кольцо из вакуумной резины гарантирует длительное использование и обеспечивает необходимый вакуум в камере распыления образца.
– Керамическое уплотнение электрических разъемов.
Технические характеристики:
Габариты вакуумной камеры: диаметр 100 мм, высота 130 мм;
Диаметр держателя (столика) образцов: 40 мм
Возможность одновременной загрузки до 6 образцов и более
Вакуумная откачка: роторный насос 2 л/сек
Вакуумная блокировка: при 20 Pa срабатывает микропневматический вакуумный клапан.
Рабочие газы: воздух или аргон, для аргона – штуцер напуска с микропневматическим регулятором.
Мишень: золото и/или серебро (диаметр 58 мм)
Вес брутто (с насосом): около 54 кг
Возможна корректировка технических характеристик и особенностей конструкции под задачу Заказчика.
Стандартный комплект поставки:
– установка ВУП ЭМ-12;
– форвакуумный насос;
– масляная ловушка (фильтр масляного тумана);
– вакуумопровод (вакуумный шланг с пружиной, гофрошланг металлический – под заказ);
– комплект вакуумных прокладок и хомутов;
– мишень золотая (другие – по заказу);
– кабель питания 220В;
– кабель высокого напряжения;
– инструкция по эксплуатации;
