Описание

Компактная настольная вакуумная напылительная установка ВУП ЭМ-12 для ионно-плазменного распыления/напыления на субмикронном уровне любых металлов (например, Au, Pt, In и Ag) в вакууме; и является идеальным и недорогим инструментом для вакуумного напыления образцов для различных задач в науке и технике, в том числе для препарирования (подготовки) образцов для сканирующего электронной микроскопии. Конструкция установки отличается простотой и легкостью управления.

Особенности конструкции:

— Вакуумная камера выполнена из термостойкого стекла;

— Встроенный в вакуумную камеру датчик вакуума и стрелочный индикатор тока напыления (милиамперметр) позволяют мониторить и контролировать процесс напыления. Стрелочный индикатор вакуума в единицах мм.рт.ст. и Па. Датчик вакуума (Пирани) находится внутри блока управления, что обеспечивает его целостность);

— Контроллер регулировки тока напыления и вакуумный клапан (игольчатый), в сочетании с внутренней автоматической схемой управления, обеспечивают контроль давления и тока ионизации в вакуумной камере, а также степень напуска необходимого газа для получения наилучшего напыления.

— Таймер для установки времени напыления в диапазоне от 10 до 110 секунд.

— Специальное уплотнительное кольцо из вакуумной резины гарантирует длительное использование и обеспечивает необходимый вакуум в камере распыления образца.

— Керамическое уплотнение электрических разъемов.

Технические характеристики:

Габариты вакуумной камеры: диаметр 100 мм, высота 130 мм;

Диаметр держателя (столика) образцов: 40 мм

Возможность одновременной загрузки до 6 образцов и более

Вакуумная откачка: роторный насос 2 л/сек

Вакуумная блокировка: при 20 Pa срабатывает микропневматический вакуумный клапан.

Рабочие газы: воздух или аргон, для аргона – штуцер напуска с микропневматическим регулятором.

Мишень: золото и/или серебро (диаметр 58 мм)

Вес брутто (с насосом): около 54 кг

Возможна корректировка технических характеристик и особенностей конструкции под задачу Заказчика.

Стандартный комплект поставки:

— установка ВУП ЭМ-12;

— форвакуумный насос;

— масляная ловушка (фильтр масляного тумана);

— вакуумопровод (вакуумный шланг с пружиной, гофрошланг металлический – под заказ);

— комплект вакуумных прокладок и хомутов;

— мишень золотая (другие — по заказу);

— кабель питания 220В;

— кабель высокого напряжения;

— инструкция по эксплуатации;

Опции:

— Возможность поставки камеры с 3-мя мишенями и вращающимся держателем образцов, что позволит поочередно покрывать один образец тремя видами металлов. Идеально подходит для изготовления всех видов сложных пленочных образцов.

— Возможность установки камеры с встроенным магнитом для увеличения эффективности ионизации/напыления.

— Возможность установки камеры для распыления/напыления углерода