Опис
Компактна настільна вакуумна установка inSpect®-VAC для іонно-плазмового розпилення/напилення на субмікронному рівні будь-яких металів (наприклад, Au, Pt, In та Ag) у вакуумі; і є ідеальним та недорогим інструментом для вакуумного напилення зразків для різних завдань у науці та техніці, у тому числі для препарування (підготовки) зразків для скануючого електронної мікроскопії. Конструкція установки відрізняється простотою та легкістю управління.
Особливості конструкції:
– Вакуумна камера виконана з термостійкого скла
– Вбудований у вакуумну камеру датчик вакууму та стрілочний індикатор струму напилення (міліамперметр) дозволяють моніторити та контролювати процес напилення. Стрілецький індикатор вакууму в одиницях мм рт.ст. та Па. Датчик вакууму (Пірані) знаходиться усередині блоку управління, що забезпечує його цілісність)
– Контролер регулювання струму напилення та вакуумний клапан (гольчастий), у поєднанні з внутрішньою автоматичною схемою управління, забезпечують контроль тиску та струму іонізації у вакуумній камері, а також ступінь напуску необхідного газу для отримання найкращого напилення
– Таймер для встановлення часу напилення від 10 до 110 секунд
– Спеціальне кільце ущільнювача з вакуумної гуми гарантує тривале використання і забезпечує необхідний вакуум в камері розпилення зразка
– Керамічне ущільнення електричних роз’ємів
Технічні характеристики:
Габарити вакуумної камери: діаметр 100 мм; висота 130 мм
Діаметр утримувача (столика) зразків: 40 мм
Можливість одночасного завантаження до 6 зразків та більше
Вакуумне відкачування: роторний насос 2 л/сек
Вакуумне блокування: при 20 Pa спрацьовує мікропневматичний вакуумний клапан
Робочі гази: повітря чи аргон, для аргону – штуцер напуску з микропневматическим регулятором
Мішень: золото та/або срібло (діаметр 58 мм)
Вага брутто (з насосом): 54 кг
Можливе коригування технічних характеристик та особливостей конструкції під завдання Замовника
Стандартний комплект поставки:
– вакуумна установка inSpect®-VAC
– форвакуумний насос
– масляна пастка (фільтр масляного туману)
– вакуумопровід (вакуумний шланг із пружиною, гофрошланг металевий – на замовлення)
– комплект вакуумних прокладок та хомутів
– мішень золото (інші – на замовлення)
– кабель живлення 220В
– кабель високої напруги
– інструкція з експлуатації
Опції:
– Можливість поставки камери з трьома мішенями і тримачем зразків, що обертається, що дозволить почергово покривати один зразок трьома видами металів. Ідеально підходить для виготовлення всіх видів складних плівкових зразків
– Можливість встановлення камери із вбудованим магнітом для збільшення ефективності іонізації/напилення
– Можливість встановлення камери для розпилення/напилення вуглецю
